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特種氣體的用途

1、氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制。氣體分析儀器用標準氣為定量標準保證測量結(jié)果的準確性，電子特種氣體，從而控制氣體產(chǎn)品質(zhì)量符合國家或行業(yè)標準

2、報警儀器的檢定與校準。

3、大氣環(huán)境污染監(jiān)測。定期校準用于環(huán)境監(jiān)測的各類儀器儀表。

4、醫(yī)1療衛(wèi)生及臨床化驗。如血液氣體分析、肺功能測定、細菌培養(yǎng)、呼吸代謝測定、放1射性示蹤器、外1科激光手續(xù)、孕婦分娩等。。

5、建筑家居環(huán)境監(jiān)測。校準用于檢測室內(nèi)建筑裝飾裝修材料中的有害物質(zhì)，如甲1醛、氨等的儀器設(shè)備。

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，包頭特種氣體，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

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